多功能真空室

概要：定制多功能高真空腔室，包括研究/制造分子束外延原型机，脉冲激光沉积，原子/分子物化PVD磁控溅射。本腔体设计制造的主要材料为304不锈钢及多处无氧铜配件。

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　　定制多功能高真空腔室，包括研究/制造分子束外延原型机，脉冲激光沉积，原子/分子物化PVD磁控溅射。本腔体设计制造的主要材料为304不锈钢及多处无氧铜配件。

关键词：多功能真空室

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地址：四川省西充县经济技术开发区高端装备制造产业园

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